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热搜: 光刻 刻蚀
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晶圆的PCM区域的作用

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发表于 2024-8-7 01:40:37 | 显示全部楼层 |阅读模式
PCM参数给定的是该工艺要实现的一些重要的参数,包括各方块电阻/电容/孔接触电阻/导线电阻/管
子的开启电压等重要参数等。不仅仅是电阻,所有用到的器件包括有源和无源器件的参数都要给出
具体数值。 方块电阻,电容阻值,晶体管的基本参数都给出。在流片结束后测试专门放在划片槽中
的PCM图形,作为“交货的质量凭证”。

PCM是Foundry监控工艺的,当器件的测量值都在指定的范围内,Foundry就会说我们的工艺没问
题,如果产品性能差就是设计的问题了。
PCM也称为 WAT:Wafer Accept Test(芯片接收测试)



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 楼主| 发表于 2024-8-8 21:30:45 | 显示全部楼层
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