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电子特种气体是半导体制造过程中不可或缺的关键材料，用于芯片制造的‌沉积（Deposition）‌、‌蚀刻（Etching）‌、‌掺杂（Doping）‌和‌清洗（Cleaning）‌等核心工艺。这类气体需满足超高纯度（通常≥99.999%）、无颗粒杂质和低水分含量等严苛要求，直接影响芯片性能和良率。