半导体氧化设备国内外知名厂商汇总

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半导体氧化设备国内外知名厂商汇总
一、国外知名氧化设备厂商

• 应用材料（Applied Materials）‌
  全球半导体设备龙头，产品覆盖氧化/扩散炉、离子注入机等核心设备，主导全球氧化设备市场‌。

• 东京电子（Tokyo Electron）‌
  在氧化/扩散炉领域占据重要份额，技术覆盖逻辑芯片和存储芯片的先进制程‌。

• 日立高新（Hitachi High-Tech）‌
  提供氧化、刻蚀及检测设备，其氧化设备在半导体前道工艺中广泛应用‌。

• 英国Thermco公司‌
  专注于半导体氧化炉研发，产品用于硅片表面氧化层生成等工艺‌。

• 德国Centrothermthermal Solutions‌
  提供高温氧化炉设备，技术覆盖传统及先进工艺需求‌。

  
  

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二、国内知名氧化设备厂商

• 北方华创（NAURA）‌
  国内氧化/扩散炉核心供应商，立式炉和卧式炉技术达到国内领先水平，全球市场份额约2.7%，国内市场占比约12%‌。

• 七星电子‌
  提供氧化炉及配套工艺设备，产品应用于半导体材料表面氧化处理‌。

• 青岛福润德（FRD）‌
  专注于半导体氧化设备制造，覆盖中小尺寸晶圆加工需求‌。

• 中国电子科技集团第48研究所‌
  参与氧化炉研发，技术应用于半导体材料氧化及掺杂工艺‌。

• 屹唐半导体（Mattson）‌
  通过收购美国Mattson切入半导体设备领域，快速退火设备适配5nm逻辑芯片产线，氧化相关技术全球市场份额达4.7%‌。

  
  

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技术及市场特点

• ‌技术方向‌：氧化设备需满足高温、高精度工艺需求，先进制程中需适配原子层沉积（ALD）等新型技术‌。
• ‌市场格局‌：国外厂商主导全球市场，应用材料、东京电子等头部企业合计份额超80%；国内厂商在部分细分领域实现突破，但整体国产化率仍较低‌。