工信部公开推广两款国产DUV光刻机！最小套刻≤8nm

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在科技界的一片惊叹声中，一则震撼消息如同平地惊雷，让无数“芯”上人彻夜难眠。国产光刻机，这个曾被国际巨头
垄断多年的高科技领域，如今竟传出惊人喜讯——氟化氩光刻机套刻精度直逼8纳米大关，标志着我国芯片制造设备自
主研发迈出了历史性的一步！是科幻照进现实，还是技术突破的奇迹之夜？让我们一同揭开这背后的神秘面纱。

各位科技迷们，今儿个咱们得聊聊那让人热血沸腾的国产光刻机大新闻！您知道吗？就在前几天，工业和信息化

部官网悄悄挂出了一份《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》，里头藏着的可都是宝贝

疙瘩，尤其是那氟化氩光刻机，简直是给咱中国科技树上又添了一片璀璨的叶子！

想象一下，以往咱们提起光刻机，脑海里浮现的可能是那些洋名字，高高在上，遥不可及。但现在，情况大不

一样了！咱们自家的氟化氩光刻机，套刻精度直接干到了≤8nm，这是什么概念？那可是能跟国际顶尖选手同

台竞技的水平啊！要知道，纳米级的较量，差之毫厘谬以千里，这背后是无数科研人员夜以继日的努力和汗水

换来的。

而且，这氟化氩光刻机不光套刻精度牛气冲天，其他性能指标也是杠杠的。晶圆直径300mm，那是国际主流尺寸；照

明波长193nm，分辨率≤65nm，每一项都是对技术极限的挑战。更绝的是，目录里还有个氟化氪光刻机，虽然套刻精

度稍逊一筹，但也能做到≤25nm，这简直就是给国内芯片制造产业链送上了双重大礼包！

说到这，您是不是已经迫不及待想知道这些高科技玩意儿能干啥了？别急，我这就给您揭秘。光刻机，那可是芯片制

造中的“光刻师”，负责在硅片上绘制出精密的电路图案。精度越高，能制造的芯片就越先进，性能就越强大。而咱们

这次的光刻机突破，意味着国产芯片在关键设备上有了更多选择，不再完全依赖进口，这对于提升国产芯片的整体水

平，保障供应链安全，那可是意义重大！

更让人兴奋的是，这次公布的《指导目录》里，可不止光刻机这一件宝贝。硅外延炉、湿法清洗机、氧化炉……这些听

起来就高大上的装备，全都是集成电路生产不可或缺的好帮手。它们和光刻机、刻蚀机一起，构成了国产芯片制造的“

豪华阵容”，让咱们在芯片这条赛道上，跑得更快、更稳！

当然了，这些成就的背后，是国家对科技创新的高度重视和持续投入，是科研人员的辛勤付出和不懈追求。他们用智

慧和汗水，书写着中国科技的辉煌篇章，让“中国芯”的梦想一步步照进现实。

所以，朋友们，下次当你手中的手机、电脑等电子产品流畅运行时，不妨想一想，这里面可能就有咱们国产光刻机的

一份功劳哦！让我们一起为国产科技的崛起点赞，期待更多“中国创造”闪耀世界舞台！

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