红光激光COD（灾变性光学镜面损伤）

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红光激光COD（灾变性光学镜面损伤）是激光器腔面因光吸收导致热失控引发的不可逆破坏现象，尤其在大功率红光激光器中更为显著。以下从成因、机制及应对措施三方面综合分析：

一、COD的成因及机制

• 热失控效应‌
  当激光器腔面区域吸收谐振腔内高密度光输出时，局部温度超过材料熔点（如AlGaInP/AlGaAs），导致腔面熔化和再结晶‌。此过程伴随晶格缺陷的产生，表现为光学显微镜下腔面变黑、裂缝或沟槽‌。
  红光激光器因短波长特性（如630nm左右），材料带隙较窄，光吸收率更高，COD阈值典型值为12~20MW/cm²‌。

• 腔面散热差异‌

  
  
  • ‌AR面（透射面）‌：镀有增透膜（AR膜），负责90%以上的激光输出，但因封装时凸出热沉约10μm，散热能力较弱，成为COD高发区域‌。
  • ‌HR面（反射面）‌：镀有高反射膜（HR膜），激光在此反射回腔体，且与热沉完全接触，散热良好，COD风险较低‌。
    

二、提升抗COD能力的关键技术

• 非吸收窗口技术‌

  
  
  • 通过Zn离子扩散至腔面附近区域，使AlGaInP超晶格无序化，提高局部禁带宽度，形成对激光透明的非吸收窗口，减少光热转换‌。
  • RTA（快速热退火）处理优化扩散工艺，增强量子阱能带调控效果，降低腔面温度积累‌。
    

• 材料与结构优化‌

  
  
  • 采用高质量外延材料降低缺陷密度，抑制光吸收热点形成‌。
  • 设计非对称P-I-N结构，结合窄波导层降低载流子泄漏，平衡电子-空穴分布，减少热源产生‌。
    

• 散热增强设计‌

  
  
  • 优化AR面封装工艺（如改进热沉接触面积），提升腔面散热效率‌。
  • 引入腔面钝化保护膜（如SiO₂/Al₂O₃复合膜），减少表面态引起的非辐射复合发热‌。
    

三、COD的典型破坏特征

• ‌宏观表现‌：光功率骤降50%以上或完全失效，AR面出现黑色断点、微小缺陷或裂缝‌。
• ‌微观机制‌：单个脉冲（<1ms）即可触发，破坏速度与功率密度成反比‌。
  

综上，红光激光COD的防控需综合材料、工艺与散热设计，非吸收窗口技术及结构优化是当前大功率红光激光器量产的核心方案‌。