admin 发表于 2025-3-12 10:22:09

(讨论)电子束蒸镀(E-beam Evaporation)中金属颗粒异常

电子束蒸镀作为一种高精度薄膜沉积技术,广泛应用于半导体、光学镀膜及纳米材料领域。然而,工艺过程中金属颗粒的异常现象(如尺寸不均、形状不规则或杂质污染)常导致薄膜性能下降。

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