芯片塑封工艺解析
一、工艺流程概述芯片塑封工艺是半导体封装的核心环节,主要分为前道流程和后道流程:
前道流程:
[*]晶圆切割:将晶圆切割为单个芯片,通常采用激光或金刚石刀片完成。
[*]芯片贴装:将芯片固定在引线框架或基板上,使用导电胶(如银胶)或非导电胶(如环氧树脂)粘合。
[*]引线键合:通过金线、铜线等连接芯片焊盘与引线框架,常用热压键合或超声键合技术。
后道流程:
[*]塑封成型:用环氧模塑料(EMC)包裹芯片及引线框架,形成保护层。
[*]后固化:通过高温固化塑封材料,增强机械强度。
[*]去飞边/切筋:去除多余塑料并切割引脚,便于后续组装。
二、核心步骤:塑封成型
压模成型(Molding):
将EMC颗粒加热软化后,通过冲压注入模具型腔,填满后固化成型。
关键参数包括温度(通常150–180℃)、压力(5–15 MPa)及固化时间(1–3分钟)。
注塑工艺:
液态环氧树脂在注塑机压力下填充模具,适用于复杂结构封装,需精准控制流动性和填充速度。
三、关键材料
环氧模塑料(EMC):由环氧树脂、固化剂、硅微粉等组成,具备高耐热性、机械强度和电气绝缘性。
填料:硅微粉占比达80–90%,用于降低热膨胀系数并提升导热性能。
四、技术难点
[*]材料流动性控制:需避免填充不均导致空洞或分层,影响可靠性。
[*]热应力管理:EMC与芯片材料的热膨胀系数差异可能引发封装开裂。
[*]工艺稳定性:温度、压力波动易导致固化不完全或内部缺陷。
五、应用与封装类型
保护功能:隔绝湿气、灰尘、机械冲击及化学腐蚀,提升芯片寿命。
典型封装形式:
[*]QFP(四侧引脚扁平封装):广泛用于高引脚数集成电路,材料以塑封为主。
[*]PLCC(塑封引线芯片封装):适用于小型化需求,如早期计算机BIOS芯片。
[*]BGA(球栅阵列封装):通过塑封实现高密度引脚布局,提升存储容量。
六、发展趋势
[*]高密度封装:3D IC封装中,Mold工艺需适应多层堆叠结构,优化填充精度。
[*]低介电材料:开发低介电常数的EMC,减少信号传输损耗。
以上工艺通过综合材料科学与精密制造技术,为芯片提供可靠保护,并支撑电子设备小型化、高性能化发展。
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