半导体后段制程中的蜡是什么
半导体后段制程中的蜡主要指有机蜡和无机蜡,其主要作用是在半导体后段制程中起到保护和掩蔽作用。在后段制程中,芯片需要进行化学腐蚀、金属蒸镀、电池钝化等强化作业,这些过程中蜡能够对芯片进行保护,并掩蔽不需要进行处理的区域,从而确保芯片的制造质量和产能。蜡的种类及其特性
有机蜡:有机蜡是以石油和其他稳定的化合物为原材料制成的,具有较好的加工性和成膜性。然而,由于其化学稳定性较差,容易受到周围环境的影响,因此在半导体制造中的应用较少。
无机蜡:与有机蜡相比,无机蜡具有更好的化学稳定性,因此被广泛应用于半导体后段制程中。常见的无机蜡类型包括氟化物等。
页:
[1]