光刻的基本原理
光刻技术的基本原理是利用光的特性,通过光源、掩膜、光敏材料和显影等步骤,将图案传输到待加工的基片上。 光的特性:[*]波粒二象性:光具有波和粒子的双重性质。在空间中传播时,光表现为波动性;而在与物质相互作用时,则表现为粒子性。
[*]光的直线传播:在同一种均匀介质中,光沿直线传播。当光遇到障碍物时,会发生反射和折射现象。
[*]光的独立性:两束光在相遇时可以独立传播,不会因为彼此的相遇而产生相互作用。
[*]光的干涉与衍射:光具有波动性,可以发生干涉和衍射现象。
[*]光的偏振:部分光波的振动方向会与传播方向形成一定的角度。
[*]光的颜色:不同波长的光呈现不同的颜色。人眼能感知到的可见光波长范围在400-700纳米之间。
[*]光的能量量子化:光的能量是量子化的,构成光的量子称为光子。
[*]光的速度:在真空中光的传播速度最快,约为每秒299,792千米(约3×10⁸米/秒),在介质中光的速度会减慢。
[*]光的散射:当光线在介质中传播时,由于微小颗粒物或分子的存在,光线会向各个方向散射。
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