激光器腔面钝化层的作用
随着技术的不断进步，高功率半导体激光器材料、工艺、封装水平得到快速提高，已逐步进入激光泵浦、材料处理/加工、医疗及国防应用领域。对半导体激光器应用领域的不断扩展，特别是高功率光纤激光器泵浦、激光切割、3D成型方面的应用，也使得研究人员更加关注高功率、高亮度的半导体激光器芯片技术的发展。对于激光器的高功率的输出，其腔面的工作稳定性已经成为关键性技术因素。高工作电流下，由于激光器内部的非辐射复合，特别是腔面光吸收造成的温度快速升高，引起器件性能出现退化，最终因导致器件腔面烧毁而失效，这些现象通常不可逆转。因此，在制备激光器过程中，需要采取措施进行腔面处理提高器件的腔面工作稳定性。研究发现，半导体激光器腔面的表面态是诱使器件退化的主要原因，适当的腔面钝化处理能够明显降低表面态浓度，起到提高器件性能的效果。激光器腔面钝化层的主要作用是改善激光器的输出特性和稳定性，减小反射和散射的影响。
激光器的腔面是激光产生和放大的关键部位，其光学特性直接影响激光器的输出效率和稳定性。在激光器加工过程中，腔面可能会出现缺陷或毛刺，这些缺陷会导致激光反射和散射，进而影响激光器的输出功率和频率稳定性。
通过钝化处理，可以去除或改变腔面表面的缺陷和毛刺，使其表面更加光滑，从而减小反射和散射，提高激光器的效率和稳定性。
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